비아트론, 소부장 으뜸기업 선정…RTP 장비 개발

디스플레이 열처리 장비 전문기업 비아트론은 2026년 11월 1일 산업통상자원부 주관 '소재부품장비 으뜸기업'에 선정됐다고 밝혔다. 이 제도는 국산화 역량과 기술력이 검증된 중소·중견 기업을 선정해 연구개발과 사업화를 지원하는 정부 프로그램이다.

비아트론은 국내 종합반도체 기업 등과 총 120억원 규모의 급속열처리(RTP) 장비 공동 개발 과제를 추진한다. RTP 장비는 반도체 회로를 만드는 전공정 핵심 설비로, 웨이퍼를 수백~수천 도의 고온에서 단시간 처리해 소자 특성을 안정화하는 데 쓰인다.

회사 측은 이번 선정에 대해 '반도체 공정에 필수인 RTP 기술 우수성과 경쟁력을 인정받았다'며 고성능 열처리 기술을 기반으로 3D D램 등 차세대 3D 반도체 공정에 최적화한 RTP 장비를 개발할 계획이라고 밝혔다.

비아트론은 증착과 식각 공정 챔버를 한 장비 안에 통합한 올인원 타입 플랫폼을 구축해 공정 효율과 생산성을 높이겠다는 구상도 제시했다. 이는 여러 대의 장비를 순차 거쳐야 했던 기존 방식 대비 풋프린트와 처리 시간을 줄이는 효과를 기대할 수 있다.

RTP 장비는 그동안 미국·일본 업체가 시장을 주도해왔다. 국내 기업의 RTP 기술 고도화는 반도체 전공정 장비의 공급망 다변화와 수입 의존도 완화 측면에서 의미가 있다.